产品简介

高温PI烤箱 PBO胶固化烘箱适用于BCB、PI、PBO胶固化，半导体晶圆，光刻胶固化，光刻胶预烘/坚膜、CPI固化洁净无氧等要求，在生物、医药、LCD、LED、光学镀膜、电子元器件等行业内的无氧化干燥烘烤工艺要求，产品也可接受非标定制。

高温PI烤箱   PBO胶固化烘箱 产品适用于适用于BCB、PI、PBO胶固化，半导体晶圆，光刻胶固化，光刻胶预烘/坚膜、CPI固化洁净无氧等要求，在生物、医药、LCD、LED、光学镀膜、电子元器件等行业内的无氧化干燥烘烤工艺要求，产品也可接受非标定制。

高温PI烤箱   PBO胶固化烘箱

型号：GM-60D

工作室尺寸：W600*H600*D600

外形尺寸：W1190* H1730*D1100  

功率 9KW

含氧量<=20PPM

温度范围: +60~+450℃ ;

温度均匀度:± 2.5℃ at2oo℃ ; ± 5℃ at35o°C;(空载)

升温速度:常温~400℃ ,升温速率>6°C/min  PLC一体可设定

温控精度:± 1℃ ;

烘箱搁板为活动形式。

在60- 120°C 之间连续烘烤80-1000 小时;

运行噪音:≤ 65db;

以上指标均在常压、空载条件情况下,距箱体内壁1/6 空间内测试;

高温PI烤箱   PBO胶固化烘箱产品特点：

结构方式

整体结构采用单门立式结构，控制柜位于箱体上方，外壳采用304镜面或者304不锈钢拉丝，工作室采用SUS304洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理，内部光亮整洁，自身洁净不产尘。

1.外壁材料：1.5mm厚度SUS304镜面洁净不锈钢板。

2.内壁材料：2.0mm厚度SUS304镜面洁净不锈钢板。

3.绝热材料：100mm厚度120K高密度硅酸铝纤维保温材料。

结构强度：箱底板承重能力：≤80Kg（均匀负载）

1．单开门结构，门框镶嵌耐高温硅橡胶密封条，拉杆式安全防爆拉手。

2. 门框安装水冷循环，降低门封圈温度。

3．配置电磁锁，防止意外开启箱门。

加热控制器：不锈钢加热管（镍铬合金电热丝，改性氧化镁填充，无缝不锈钢管覆套）。加热器控制方式：无触点等周期脉冲调宽，SSR（固态继电器）

温度控制器：采用PLC+威纶通10英寸触摸屏控制系统，多段可程式PLC一体控制，恒温，升温等多段设定控制。

氧含量控制器：氧分析仪精准控制，外接99.999%纯度氮气，氧含量达到＜ 20PPM 以下。

水冷系统：采用水冷控制系统降温门缝圈，常水温在20-25℃。

降温系统：采用降温冷却风机，使用箱体降温循环冷却。

气体系统：氮气流量计,入气口8mm接口，出气口100mm,自动启闭风阀。

排风系统：不锈钢排风管，带自动风阀，有机排气口，冷却排风口。

更多产品信息请联系我们，接受产品非标定制