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晶圆烘箱 MES无氧烤箱 三清仪器定制

简要描述:晶圆烘箱 MES无氧烤箱 三清仪器定制产品用途范围:IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,,电工产品、材料石英晶体振荡器,混合集成电路板、零备件等高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验等应用。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-11-20
  • 访  问  量:1302

详细介绍

品牌SOODKING/三清仪器加热方式电加热
内胆材质不锈钢内胆尺寸定制cm
外形尺寸电加热mm温度波动0.5℃
温度范围10-250-300-400-500℃价格区间面议
仪器种类精密烘箱产地类别国产
应用领域食品,生物产业,农业,能源,建材

晶圆烘箱 MES无氧烤箱 三清仪器定制工作室采用SUS304洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理,内部光亮整洁,自身洁净不产尘。

产品主要技术参数:

   

千级洁净烘箱

   

SKCOL-9070A*4

工作室尺寸

W400 * D350 * H500 MM

总消耗功率

2.0 KW

洁 净 度

Class 100

(立方英尺0.5UM颗粒数小于100,立方米0.5UM颗粒数小于3520

积(L

70 L

 

RT+20 +250

P.I.D控温 三色灯,急停按钮

设备技术指标                                                                            

项目

内容

工作室容积

400mm×350mm×500mm (W宽×D深×H高)

工作温度范围

RT+20 +250

升温速率

5/min (空载,非线性)

温度偏差

≤±1(空载,恒定状态时)

温度精度/分辨率

±0.1

温度波动度

±1(空载,恒定状态时)

温度均匀性

±1.5%(空载,恒定状态时) 200℃时误差为±3

时间定时范围

0 – 9999 小时,分钟,秒

洁净等级

Class100

立方米≥0.5UM尘粒≤35000 /立方英尺≥0.5UM尘粒≤1000

总功率

2.5 KW

电源

220V 50Hz (三相五线)

电源线

2.5

箱体结构系统                                                                      

项目

内容

结构方式

整体结构采用单门立式结构,控制柜位于箱体上方,外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后喷塑,工作室采用SUS304洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理,内部光亮整洁,自身洁净不产尘。

材料构成

1.外壁材料:1.5mm厚度3A冷轧钢板静电双面喷塑,颜色为工业白。

2.内壁材料:2.0mmSUS304镜面洁净不锈钢板。

3.绝热材料:100mm120K高密度硅酸铝纤维保温材料。

结构强度

箱底板承重能力:≤130Kg(均匀负载)

柜门

1.单开门结构,门框镶嵌耐高温硅橡胶密封条。

2.拉手采用拉杆式安全防爆拉手。

备注:干燥箱工作室内部经过碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。用户在使用洁净烘箱之前应使用无纺无尘布擦拭工作室内部及隔板。

                                                       

项目

内容

配置

1.风道位于箱体顶部与背部,高效过滤器H.E.P.A位于箱体风道内部。

2.热风经过H.E.P.A进入干燥箱内部,再循环至顶部进入风道,往复循环。

3.三相异步长轴耐高温长轴马达,带相序保护,超温过流保护。

4.不锈钢涡轮扇叶,出厂经动平衡调校,确保送风平稳。

5.排风口:不锈钢排风管,带自动风阀,排风管位于箱体背部。

工作方式

设备启动,鼓风装置持续运行,箱内热风循环。

过滤系统

项目

内容

配置

1.耐高温高效过滤器,过滤等级H13 (99.97% - 99.99% @0.3um

2.采用进口耐高温超细纤维芯材,连续耐温350℃,铝箔隔层,陶瓷胶密封

3.边框配置玻璃纤维耐高温密封条

工作方式

设备启动,热风循环启动,热风通过高效过滤器H.E.P.A实现箱内自净化。

安全保护系统                                                                            

项目

内容

工作室

独立式工作室超温保护器

加热系统

欠压、超压保护.过流保护.加热器断线保护.超温保护

热风循环系统

相序保护.缺相,欠压保护.过热,过载,过流保护

电源系统

电源缺相及相序错误保护.漏电保护.加热器超温保护.加热器短路过流保护

其他

设备外壳接地保护,电磁门禁系统
















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